合肥准分子预混气_合肥特种气体_合肥激---体
高纯四---碳主要用于集成电路、半导体的等离子刻蚀领域,可用来蚀刻硅、二氧化硅、氮化硅等硅材料,是用量大的等离子蚀刻气体。此外,高纯四---碳还可用于印刷电路板清洁、电子元器件清洗、太阳能电池生产等领域。四---碳用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激---体,四---碳公司,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。四---碳用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝,然后慢慢地气化后,随后通过硅胶干燥塔得到产品。
吸入四---碳的后果与浓度有关,四---碳价格,包括头1痛、---、头昏眼花及心血1管系统的破坏(主要是---)。长时间接触会导致---的---破坏。因为导致臭氧层破坏的是氟氯烃中的氯原子,它被紫外线辐---中时会分离。碳-氟键比较强,因此分离的可能性比较低。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。因为导致臭氧层破坏的是氟氯烃中的氯原子,它被紫外线辐---中时会分离。碳-氟键比较强,因此分离的可能性比较低。四---碳在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,四---碳,微溶于水,高浓度四---碳,在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%重量比,然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒---物。
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