安徽谱纯|品种齐全(图)-高纯四---碳厂家-淄博四---碳

四---碳是一种卤代烃，化学式cf4。它既可以被视为一种卤代烃、全---碳，也可以被视为一种无机化合物。零下198 °c时，四---碳具有单斜的结构，晶格常数为a = 8.597，四---碳报价， b= 4.433，淄博四---碳， c = 8.381 (.10-1?nm)， β = 118.73° 。高纯四---碳主要用于集成电路、半导体的等离子刻蚀领域，可用来蚀刻硅、二氧化硅、氮化硅等硅材料，是用量大的等离子蚀刻气体。此外，高纯四---碳还可用于印刷电路板清洁、电子元器件清洗、太阳能电池生产等领域。四---碳的溶氧性---，因此被科学家用于超---潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的---内，小白鼠仍可安全脱险。

反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化。四---碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造，以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。对于硅和二氧化硅体系，采用cf4-h2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45:1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。