特种气体生产厂家-安徽谱纯(在线咨询)-上海特种气体

 特种气体 spe---lily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。硅片的蚀刻气体特种气体主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。为了提高气体稳定性和保质期，特种气体厂家，天然1气公司已经开发出各种技术，以1小化任何局部活性位点在铝气瓶中催化表面的潜在效力，然后再填充特种气体。

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